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真空感應碘化爐

發布時間:2018/11/14
真空感應碘化爐

碘化爐簡介 

設備主要技術參數: 

         設備總功率                     140KW;

         沉積室溫區                    Φ300mm*Η600mm;

         沉積室加熱溫度                 1600℃;

         沉積室加熱功率                 100KW;

         反應室均溫區                   Φ200mm*Η900mm;

         反應室加熱溫度                 500℃;

         反應室加熱功率                 15KW;

         碘儲存室                       Φ200mm*Η500mm;

         碘儲存室加熱溫度                 120℃;

         碘儲存室加熱功率                 5.5KW;

         碘收集冷凝需配置獨立制冷機功率   0.75KW;

         兩端端蓋油冷循環溫度             250 ℃;

         爐室空爐極限真空度                0.06Pa;

 


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